產(chǎn)品推薦
芯片制造過程中,既需高純度用水保障生產(chǎn)精度,也會(huì)產(chǎn)生含微量有機(jī)物、懸浮物的廢水,MBR 簾式膜憑借高效分離性能,在芯片制造的水質(zhì)預(yù)處理與廢水回用環(huán)節(jié)展現(xiàn)出良好應(yīng)用效果,為生產(chǎn)與環(huán)保需求提供雙重支撐。?

從生產(chǎn)用水預(yù)處理來看,MBR 簾式膜能提升進(jìn)水潔凈度。芯片制造前的原水預(yù)處理需去除水中懸浮物、微生物及部分膠體,MBR 簾式膜通過膜絲的精密過濾,可高效截留這些雜質(zhì),避免其進(jìn)入后續(xù)超純水制備系統(tǒng)(如反滲透、EDI),減少核心純化部件的污染風(fēng)險(xiǎn),間接保障最終清洗用水的純度,為晶圓清洗、光刻等高精度工序提供穩(wěn)定的水質(zhì)基礎(chǔ),降低因預(yù)處理不徹底導(dǎo)致的芯片質(zhì)量隱患。?
從廢水處理與回用來看,MBR 簾式膜助力資源循環(huán)。芯片制造廢水(如清洗廢水、光刻廢水)含低濃度有機(jī)物與微量雜質(zhì),直接排放既浪費(fèi)水資源,也需承擔(dān)環(huán)保壓力。MBR 簾式膜可對(duì)這類廢水進(jìn)行深度處理,截留水中的污染物,使處理后水質(zhì)達(dá)到回用標(biāo)準(zhǔn),可重新用于設(shè)備冷卻、地面沖洗等非核心生產(chǎn)環(huán)節(jié),提升水資源利用率;同時(shí),其模塊化設(shè)計(jì)適配芯片制造廢水的間歇排放特性,可靈活調(diào)整處理規(guī)模,避免設(shè)備閑置或負(fù)荷過載,保障處理效率穩(wěn)定。?
此外,MBR 簾式膜的抗污染特性適配芯片制造需求。芯片制造用水與廢水成分相對(duì)復(fù)雜,MBR 簾式膜的簾式結(jié)構(gòu)利于水流擾動(dòng),減少污染物附著,且清洗維護(hù)便捷,可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定過濾性能,減少因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)或廢水處理中斷,為芯片制造的連續(xù)化、穩(wěn)定化運(yùn)行提供支持。?
